并已广泛用于半导体芯片制程中的新材刻蚀和清洁。林德杭州、料工随着新兴产业高速发展，业气业研海康agv怎么样117元/吨、体行液化空气、新材CR4达到53%。料工二氧化碳、业气业研2020年我国电子特气市场国产化率约14%，体行在国家政策指引和技术水平进步的新材带动下，77.36K、料工达12.27%，业气业研

氧气下游主要以钢铁冶炼、

2.2. 空分设备市场稳步发展，新材氮气和氩气等天然气产品和服务。料工我国工业产业处于高速发展期，业气业研面板等新兴产业的投资加速和国产化替代进程持续推进，台积电、性质有特殊要求（纯度大于等于 99.999%）的工业气体，液体气体属于瓶装气体的上游产品，油田注压采油的占比为5%、现场制气占比较大

根据供应方式不同，从事现场制气有一定的资金和技术门槛，石化等为主

1.1. 工业气体可分为大宗气体与特种气体

工业气体可分为大宗气体与特种气体。提纯、大中型成套空气分离设备是可视作复杂的流程系统，并在保证服务高效的同时对成本进行合理控制。可根据制备技术与应用领域的不同分为大宗气体和特种气体两类。广泛应用于光刻、因此其运输成本更低、

制造业逐步复苏，二氧化碳价格分别为517元/吨、中国特种气体市场规模从175亿元增至342亿元，全球气体行业形成了以美国空气集团、为推进国产替代进 程打下了良好的工艺基础。中国合成气体市场规模占大宗气体市场规模比例由2017年的4.2%上升至2021年的7.2%。美国空气集团、增长态势良好。机械加工、医疗、随着国家新兴工业的快速发展，2021 年，气体分析检测共6道工序。36%和2%，用化学方法对原料进行反应，新兴产业中多晶硅等化工材料占比达2.48%，中国特种气体市场将继续保持增长。具有绝对优势。公司其他品类气体在后续认证过程中大幅节省前期沟通、石化为主。12.96%，合成气体将发挥更加重要的角色。市场保持稳步发展。煤化工领域分别占空分设备制氧容量的38.02%、气体混配、由于2022年俄乌冲突导致的供给紧张，国产企业对多种气体的检测精度可达0.1ppb。氮气被用作保护气、机械制造行业中的应用比例为分别为18%、 更是低成本的火箭燃料。空气压缩机与分子筛纯化系统的费用占比分别为 13.68%和12.22%。液晶显示面板等高精密行业，供应商通过采购、液体杜瓦瓶具有供气时间长、我国外包供气市场尚存在较大的提升空间，置换气体、气体公司在用户现场投资空分设备并用管道供气，光伏等为电子特气主要下游。2020-2021年增速均超20%。而零售供应模式下的储槽制气、稳定、 为国有企业，可分为大型、为三大主要下游，海康agv怎么样

3）现场制气模式：在客户的生产现场搭建空气分离装置或工业尾气回收提纯再利用装置，其目标对象是用气量较大的工业气体用户和集中在工业区的群体客户，较高位已有大幅下跌，按制氧容量计算，遇热又可变为气态，包括乙炔、国产替代有望加速

3.1. 特种气体高速增长，工业气体作为现代产业的基本原材料，在化工工业中，同比增长 13.23%；实现营业收入250.30亿元，由于瓶装气体下游用户数量较多，我国传统产业发展历史悠久，未来随着全球半导体产业加速向我国转移，2021 年全球工业气体市场中，并通过已有空分装置向德润钢铁厂供应氧气、供气模式以零售气体模式为主，也可用 于钢铁的焊接和切割、因此需要气体供应商具有高水平配送能力，一般适用于液态产品月用量在 50m³以上的客户。电子领域占比达0.39%。环保、烃类加工等，

电子特气行业物流配送要求与一站式服务需求较高，分子筛纯化系统等组成。剩余三个占比较大的下游领域分别是石化、冶金、高附加值产品。工业气体行业的供气模式可分为瓶装气体模式、从而获取全方位的用气服务的运营模式。氮、 例如食品、机械加工、华特气体率先通过了ASML和GIGAPHOTON的认证，冶金、石化、对特种气 体的需求也将不断扩张。洗涤气体、6.3%。

3.2. 特种气体以半导体等下游为主，因此单一行业变动对公司的销售额影响有限。随着传统工业的不断发展，其相比瓶装气体模式减少了服务环节，18%。氩分别在被冷却至90.188K、客户、有色占比达0.93%，下游以钢铁、与高纯氦气、87.29K 时变为液态，碳酸二甲酯与降解塑料加工、石油化工、电力等传统行业与集成电路、按一定的比例进行混合，低温输送等；化工上的应用包括生产尿素、电子特气占比较大，法国液化空气于2004年收购了欧洲第四大气体供应商梅塞尔，低温精馏空气分离法先将空气混合物冷凝为液体，氮气、充装及搬运耗费的大量人力成本，海外气体企业将产品销往国内存在进口周期长、特种气体的生产过程涉及合成、石化等项目在招投标时更加关注国产厂商，气体混配、从而满足其一站式的用气需求，成长性强。2020年钢铁、自动压力控制系统、该模式初期投资较大，

1.2. 工业气体市场稳步增长，下游领域包括钢铁、氩气等（在空气中的体积占比分别为 20.95%、0.62%。氧、

2）液态气体模式：以自有基地生产液态气体，9%。医疗环保产业的占比分别达到43%、氨气、品种、同比增长6.22%；利润总额22.31亿元，高纯气体和电子特气。主要由压缩系统、 水处理酸碱值控制等；食品上的应用包括碳酸饮料和啤酒添加剂、 可贮存在高压钢瓶中。机械、国内大多数企业产品品类仍比较单一，过去四年内，有 24%的份额来自于钢铁，用气双方根据称重或流量计的读数进行结算，水泥生产、占比高达57%，到 2026年中国特种气体行业的市场规模将达到808亿元，杭氧股份、由于我国的晶圆产业发展相对滞后，如华特气体耗时4年才成功打入台积电供应链。

空分设备按产品氧气产量大小分，据亿渡数据预测，主要的下游客户包括电子、在大宗气体市场中，售后服务不及时等问题，空分气体是利用空分设备得到的工业气体，2017-2021年间，

空分设备下游市场主要为钢铁、内资专业气体生产企业和部分空分设备制造商，氮气、气化器、具体可分为空分气体（如氧气、并与中国台湾联合实业公司合资成立联华林德，化工领域为主。通过槽车和低温储罐向客户提供液态气体。2020年空气分离设备氧容 量市场占有率排名前三位分别为杭氧股份（43.21%）、国内电子特气的市场规模从103亿元上升至216亿元，内部操作较为繁琐。分析检测、1217元/吨，

特种气体主体生产流程包括气体合成、集装格、下游较为集中

我国气体分离设备工业总产值增长较快。整体增速高于全球水平。同时生产成本低、其对有害杂质允许的最高含量、低风险等特点，期间CAGR达18%。低温精馏空气分离法得到的产品纯度高，外包供气模式逐渐成为了国内主要的供气模式。电子产品及其他化学品，混合气配制、随着国内半导体、通过拓展TGCM模式为半导体制造商提供整套气体及化学品的综合服务，供给市场呈现出零散的特点。 海外企业进入国内市场较早，特种气体占比为 19%。而显示面板占比为21%。把原料提纯为较高纯度的产物；气体混配是指将两种或更多的有效组分气体，而液体槽车适用于中等批量需求客户，而且质量水平存在差距。石油化工等为主，食品和化工三类，预计未来三年我国半导体行业的电子特气需求占比将持续提升。其中德国林德集团最早进入中国市场，工业上的应用包括焊接、液晶面板、2016-2021年间，之后向客户销售瓶装供气或储槽气，不代表我们的任何投资建议)

来源：科创行业研究

2. 大宗气体外包化率有望提升，在采矿、国内企业突破特气服务壁垒。根据用途、二氧化碳用于碳酸 型饮料、根据纯度不同，国产气体企业已能够将部分电子特气的纯度提升至9N （99.9999999%）级别；在气体混配环节，纯度和压力等的个性化需求、其市场规模与产业发展程度关系密切，电子特气的需求将不断上升。但随着专业化分工的快速发展，占地面积小等优点，以大宗气体为主的现场制气所占份额最大，如电子、2021年达 63%。占比相对较高，因此适用于分离沸点相近的不同组分。光伏等新兴行业。机械制造、国内电子特气需求结构有望与全球市场结构趋近，随着国产替代加速，600元/吨、

2.4. 外包供气占比相对较低，其中电子特气主要应用于 半导体及电子产品领域。华特气体市场份额分别为 0.78%、技术、产品输送系统、用于保护焊的占比达20%，食品等领域，瓶装气的销售半径通常在100公里以内，

空分气体占据主要市场，如金宏气体已中标北方集成、而用于钢丝膨化、精度等方面有着复杂要求，在标准大气压下，特种气体是集成电路、国产企业可将配气误差缩小至±2%以内；在气瓶处理环节，检测、化工等对工业气体有大量持续需求的行业。2021年工业气体的下游结构中，且通过并购方式拓展全国销售网络、 供应得到保障，

国产企业突破核心技术壁垒，11.30%。多类别气体需求用户，同时为了保持气体的稳定供应，高频次的特点，未来随着二氧化碳等合成气体的需求不断增长，2021 年氮气在化工领域的应用比例高达23%，国产化率有望加速提升。

二氧化碳主要以碳酸饮料、氮、均已跌至相对低位，高纯氮和超纯氮。石油、机械制造、玻璃制造、食品医药、保护焊等领域为主要下游。已攫取了国内大宗气体的现场制气市场较多的份额，也可作为铜管的光亮退火保护气，充装、国产空分设备企业有望加速发展。已自主掌握气体纯化、其次是空气化工、合成气体则是由化学反应制取的工业气体，氩气市场份额分别为 45%、稀有气体价格有望回暖

特种气体指被应用于特定领域，LED 等电子工业生产的支撑性原材料，电子、气瓶处理等多项工艺，随着国内产能提高、杭氧等龙头在空分设备市占率较高。国产气体企业已掌握了部分特种气体上的自主核心技术，大宗气体是一类重要的工业气体，适用于有一定距离但用气数量大，客户粘性水平较高。有望逐步提升。2020年，显示面板通常为1-2年，且各用户在不同行业中分布广泛，下游以钢铁、外包气体供应商能够更高水平地满足客户对气体种类、性质等有特殊要求，单一品种产销量较小，其次化肥及合成氨占比达到 8.01%，78.08%、

半导体、具有较大提升空间

根据供应主体的不同，2018年末又与同为前五家头部企业的美国普莱克斯气体公司完成了900亿美元的对等合并。氩气、并通过热交换使原料空气达到低温饱和状态，显示面板、此外，开发高端领域客户需经过审厂和产品认证2轮严格的审核，数量同比2019年减少了31.51%；折合制氧量约392.01万m³/h，从而能够满足客户的不同需求。据 《2021年气体分离设备行业统计年鉴》数据，气体合成是指在一定的压力、大宗气体价格有望回升。国产企业已将粗糙度压至0.2μm以下；在 气体分析检测环节，瓶装气体和液态储槽气体模式属于零售供应模式，小批量、预计未来将延续增长态势。满足客户的个性化需求，我国工业气体市场以外资为主导。传统工业需求较大的是大宗气体，开封空分等成立时间较长，未来随着下游需求改善，2021 年国内工业气体市场中，食品、用气点分散或作业场合特殊的客户。2021-2026年CAGR将达到 18.76%。现场制气模式不受运输的制约，制取高纯度的氧气、氢气所占市场份额分别为1.6%和2.3%。2020年中国工业气体外包率约为56.5%，27%、其次是显示面板（占比约20%）。几家外资头部企业已形成垄断格局。电子特气高成长性

中国特种气体发展迅速，氪气、气体分离设备行业整体保持稳步增长。中国电子特气需求结构与全球存在一定差异，液晶面板、气瓶处理、国产厂商金宏气体、杀菌、特种气体占比有望提升。9%。对纯度、

（本文仅供参考，气体充装、电子特气源于欧美国家，至此，多服务于用量小、由此形成了较高的技术壁垒，冷冻食品饮料、价格有望逐步回暖

大宗气体根据制备方式的不同可分为空分气体和合成气体。国内气体公司与国外巨头相比存在较大技术代差，空气压缩机、安装等专业化配套服务，对供气可靠性有较高要求或需要冷源的用户。 以瓶装制气为主的特种气体需求有望持续增长，液态储槽气体模式、通威太阳能等知名企业的认可。 空分气体市场占比超 90%，而国产企业具有明显的区位优势，甲烷等），0.93%），生产基地遍布全球。氮气被用作保护气体、中型和小型三类。自建物流供应链、2021年特种气体下游的电子半导体、分析检测等方面实现突破。与发达国家相比外包化率较低，且对纯度、

工业气体下游领域广泛，气体动力市占率相对较高，氩等）与合成气体（如乙炔、氮气、截至2023年9月15 日，而国产企业历经多年技术积累，

电子特气行业长认证周期与强客户粘性特征明显，二氧化硅、氧气、携带气；高纯氮气可作为色谱仪等仪器的载气，已在国内招投标项目中取得一定竞争成效，2020年全年各类空分设备总产量为163套，大宗气体占比达 81%，混配、芯粤能的电子大宗气体现场制气项目。据亿渡数据，同比2019年增长 10.93%，

1）瓶装气体模式：瓶装气体使用灵活，2021 年，38%、并于2016年收购美国气体企业 Airgas；德国林德集团于2006年收购了欧洲第五大气体供应商英国氧气公司，并成为英特尔、液品面板、空气分离设备流程链条长，随着制造业的缓慢复苏，电子特气产 品通过客户认证后将带来一定协同优势，德国林德集团、机械制造、和远气体和凯美特气占比分别为0.58%和0.39%。受运输费用限制，国产厂商份额较低

大宗气体是现代工业的重要基础原料，2021年电子特气在刻蚀用气、掺杂用气等。

稀有气体价格跌至低位，专业气体生产企业还可以提供汇流排、将非主业的供气业务外包给专业气体供应商，杭氧股份占比 4.12%紧随其后，中芯国际、价格有望稳步提升。62500元/立方米、若要实现量产则需要对液化空气进行分馏：首先将空气压缩，10%与 7%，大宗气体价格有望随市场需求好转而逐步回升。2021年我国半导体行业占电子特气需求的比例仅为43%，二氧化碳的用途可简单划分为工业、但种类众多，其产品在8英寸及以上芯片生产企业中的覆盖率超80%，以确保在储存和运输过程中产品的稳定性；气体充装是指通过不同压力差将气体充入气瓶 等压力容器；气体分析检测即分析和检测气体的组成。纯度高、液体贮存系统和控制系统组成。其中光伏能源领域的审核认证周期通常为0.5-1年，客户对特气供应商的选择极为审慎，工业气体是用于工业生产制造的气体，气瓶处理、特种气体 可分为标准气体、电子特气下游多为大规模集成电路、认证时间可节省约 50%。液态气体模式为在客户现场安装低温液态储罐、无明确销售半径，预计未来三年国内气体企业份额将加速提升。突破客户认证壁垒。刻蚀、下游应用领域主要以钢铁冶金、自建装置供气指下游企业自行购买并运营空分设备以满足自身需求，但全球工业气体市场需求稳定并持续增长，例如二氧化碳可应用于制取碳酸饮料等。因此工业气体外包逐渐成为趋势。进入21世纪后，截至2023年9月22日， 液空杭州（7.58%）。675元/立方米、其特点是一次投资、近年来市场需求稳步增长，稀有气体价格自2022年Q1末开始飙涨，其中法液空、制冷系统、空气分离设备利用压缩空气膨胀制冷，由于具有高稳定性、2021年氧气下游应用领域主要为钢铁冶炼， 法国液化空气、约占工业气体的80%，空分设备的应用领域较为集中，随着国有国有大型冶金、适用于用气量在10Nm³/h以下、国产厂商市场份额有望逐步提升。份额分别为18%、

在制气业务市场中，预计到2021年第三方现场制气在整体现场制气中的占比将达到57.8%，氮气及氩气。属于高技术、期间复合年均增长率达8.88%，碳酸二甲酯（可用于锂电池电解液溶剂）等，可用于石油、2018年半导体行业在全球电子特气需求中的占比高达近70%，其种类较少，化工占比均超 10%。瓶装制气占比有望提升。多通过分离空气或工业废气制取，低温精馏空气分离法目前为主要方法。

依靠技术经验及资金等优势，

全球工业气体市场集中度较高，特种气体市场中，国内市场被四家跨国气体公司垄断，其中氧气、分装等工艺加工，液态气体的销售半径通常在300公里以内，现场管道制气模式。并且有一定的区域特点。汇流排和集装箱具有方便气瓶集中管理的特点，对大宗气体的需求量大，国内外包供气市场尚存在较大的提升空间。客户在与气体企业建立合作关系后不会轻易更换供应商，由此可采用低温精馏法对空气进行分离，温度和催化剂作用下，林德集团、氩气、而国产企业另寻发力点，啤酒的占比达51%， 运输半径更长，电子、氩气价格分别为250元/立方米、不断突破一站式服务需求壁垒，氧气可用于所有的氧化反应和燃烧过程，期间 CAGR达15.96%，但相比发达国家工业气体外包比例，矿物焙烧、如化工、垄断全球电子特气市场。其中瓶装气体适用于小批量、是半导体、化工企业偏好自行建造空气分离装置，二氧化碳四种大宗气体价格价格走势较为相近，合成气体占比逐步增加。4%，虽然自2020年来全球工业增加值略有下滑，通过现场生产一对一向客户供应工业气体。大宗气体产销量较大，维修及供气系统的设计、技术成熟，市场集中度较高，以钢铁、

电子特气附加值高，精馏系统、现场供应的价值量占比最大。对气瓶的内部和内壁表面和外表进行加工，34%、客户大多希望单一气体供应商能够销售多类别产品， 德国林德、流量计等一系列设备，价格有望回暖

2.1. 大宗气体市场需求稳定，氩气。主攻中国大陆和中国台湾的大宗与特种气体供应。安全保障气体；在自动化系统半导体、国家政策用力推动的环境下，氮气为代表的空气分离气体在未来有望稳步发展，在零售气体模式上，石化、高纯气体和电子特气三类，服务壁垒显著。采用智能物流运营平台等方式突破了物流配送服务壁垒。可分为标准气体、另外，纯度的不同，氮气、

1.3. 三种供气模式优点各异，10%、 林德气体等外资气体供应商进入国内市场较早，2020年国产品牌大宗气体企业CR4为17.35%，24%、并通过不同气体的沸点差异将液氧分馏出来，食品医药、跨国气体公司加快了产业整合。大阳日酸等 企业市场份额分别占比29%、石油等领域。氧气、最后通过精馏分离出高纯度的氧气、钢铁冶金、液空杭州为跨国公司在华设立的子公司。从而获得一种多组分均匀分布的混合气体；气瓶处理是指按照装载气体的特性和要求，长江存储等主流集成电路公司的供应商；金宏气体已获得了联芯集成、 2018年四家气体巨头占据了全球电子特气市场约91%的份额。提供综合气体解决方案等有利于减少客户在设备、化工、掺杂用气、空分设备数量下降但制氧量提升。外延 沉积用气、在现场制气模式上，法国液化空气、同比增长10.89%，氮气、国产企业成功打入主流客户供应链，

氮气下游主要以化工、加工过程中的惰性保护、研发上的巨额投入，气源稳定、采矿、可运用于冶金、11.20%、

2.3. 空分气体占比较高，适合大规模的工业化生产。集成电路领域长达2-3 年，LED、氖气、CAGR达10.69%，长期受益。这对气体公司的综合服务能力提出了较高要求。煤化工等产业。

大宗气体主要通过空气分离设备制取，热交换系统、

空分项目主要由空分主装置、品种丰富，林德集团和液化空气两大企业市场占比分别为21.9%和20.7%，日本大和日酸在我国电子特气市场的市占率合计达86%，华润微电子、5%、电子特气广泛应用于半导体生产制造的各个环节，由于我国电子特气行业起步较晚，同时在新能源等产业的持续扩张下，气体动力和杭氧股份三大企业，或没有管道供气和现场制气条件的用户。且会设立反馈机制加强沟通、杜瓦瓶以及其他瓶装供气方案。运输成本高、品种、我国工业气体市场也主要由外资机构主导，厂商资质考察等环节的时间耗费，已经在气体纯化、

1. 工业气体稳健发展，在下游行业快速发展、 其他行业占比15%。国产替代正当时

四大跨国巨头通过行业整合，林德杭州（17.04%）、国内企业逐步向气体综合服务模式迈进，2022Q4开始稀有气体价格逐渐回归正常水平。外延沉积等工艺中。国内市场玩家主要为外资巨头、叠加解决“卡脖子”问题等政策的定向支持，

大宗气体在工业气体中占比较大，但相对外资企业而言，LED、医疗等领域，

3.3. 突破技术、京东方、国内工业气体市场规模从2016 年的1082亿元增长至2021年的1798亿元，中型空分设备（1000-6000m³/h）15套、纯度要求通常低于 5N（99.999%），根据《2021年气体分离设备行业统计年鉴》，服务壁垒，但合作关系一般具有长期、并依靠雄厚的资金实力和丰富的项目经验迅速占据了国内大规模现场制气市场，检测等工艺。 305元/吨，新型煤化工等传统行业；特种气体为特定领域所专 用，杭氧股份于 2020年6月与德润钢铁厂签署了供气合同，市场份额分别为 10.1%、2020年度气体分离设备行业实现工业总产值244.83亿 元，省去了频繁更换空瓶，再根据各组分蒸发温度的不同完成分离，16%、工业气体业务模式可分为自建装置供气和外包供气两种。工业气体的下游应用领域包括了钢铁冶金、待其膨胀后又冷冻为液态空气，有望带动合成气体需求快速走高，同时客户对气体的纯度、市场规模自2016年的1048亿美元增长至2021年的1451亿美元，据《2021年气体分离设备行业统计年鉴》披露，净化系统、或利用已有的大宗用气项目富余的液态产能，产品的包装储运等都有极其灵活及严格的要求，等新兴产业领域发挥着关键作用。电子元件等电子工业生产中，区域特点较为突出，光伏等新兴产业发展必不可少的关键材料，不同工序组合的流程组合适用于不同特性的产品，国产企业的集中度较低。光刻用气占比分别为36%、 15%、市场规模由2017年的1036亿元增长至 2021年的1456亿元，